Techniques de fabrication des microsystemes 1 structures et microsystemes electromecaniques en couch

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Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

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Rayons : Sciences & Techniques > Généralités sur la science

  • EAN

    9782746227071

  • Disponibilité

    Épuisé

  • Poids

    1 701 g

  • Distributeur

    Lavoisier

  • Support principal

    Grand format

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